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高溫退火爐 / 高溫氧化爐 ActivSiC-650 / OxidSiC-650
??SiC-650系列高溫爐,適用于SiC基功率器件制造中的高溫工藝環節。為實現SiC片在高溫真空環境下完成離子激活和退火工藝,SiC-650系列高溫退火爐和氧化爐,均采用立式結構設計,工藝控制好,片間溫度分布均勻,工藝氣流均勻穩定。本系列高溫爐,采用加熱腔與工藝腔獨立的真空密閉設計,提高工藝腔的氣密性和潔凈度。

應用領域

SiC基功率器件 、石墨烯生長


適用工藝

高溫退火、高溫氧化


產品優勢

  • 多區加熱,紅外測溫+熱偶監控
  • 水冷電極引入,熱區結構合理,易維護。
  • 水冷爐壁,環境溫度低,溫升小
  • 帶潔凈氣體循環的裝料腔室,降低顆粒污染,確保微環境清潔。

聯系方式
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